中芯国际出手！国产DUV光刻机测试获突破
9月17日，据《金融时报》援引知情人士透露，中国芯片制造龙头中芯国际开始测试由上海初创企业宇量昇研发的深紫外(DUV)光刻机。此举被业界视为打破海外技术封锁、保障AI芯片供应链安全的战略性一步，标志着中国在攻克“卡脖子”技术难题上进入了实质性阶段。
DUV光刻机虽非最顶尖的EUV设备，但仍是制造7nm及以上制程芯片的主力设备，涵盖了目前绝大多数车用芯片、物联网芯片以及人工智能(AI)处理器。
本次国产设备的提供方——宇量昇，是一家备受关注的国资控股高新企业。公司专注于光刻机中的关键曝光系统，旨在通过自主研发来稳定国内芯片供应链，减少对阿斯麦(ASML)的依赖。作为国产光刻技术的“挑战者”，宇量昇获得了国内多家研究机构与政府的大力支持。
据悉，此次测试的DUV光刻机采用了与ASML系统类似的全浸没技术。该设备大部分零部件为中国国内制造，但仍有部分零件是从国外采购，宇量昇正在努力尽快实现所有零部件的国产化。据报道，中芯国际此次试验的早期结果较为乐观，但目前尚不清楚该机器是否以及何时能用于大规模芯片生产。
长期以来，高端光刻机技术被ASML等海外企业垄断，对中国半导体产业发展形成制约。此次中芯国际的测试，是中国半导体设备国产化进程中的重要尝试。
资本市场对此消息反应迅速且热烈。9月17日，中芯国际A、H 股齐拉升，A股股价一度上涨10%，港股股价也大幅攀升。截止发稿时，中芯国际股价上涨6.58%，达到117元高位，显示出投资者对中芯国际在国产光刻设备验证方面的进展给予了积极反馈，以及市场对中国半导体自主化前景的信心。受此影响，光刻机概念股高开，盘中持续走强。个股方面，永新光学、波长光电双双涨停，国林科技、苏大维格、茂莱光学、新莱应材、蓝英装备等涨幅领先。
SEMI报告显示，2025 Q2全球半导体设备出货金额达到330.7亿美元，同比增长24%。中国大陆销售额达113.6亿美元，同比下滑2%，环比增长11%，以约34.4%的份额稳居全球第一大半导体设备市场。而中芯国际作为中国集成电路制造领域的领军企业，此次对国产DUV光刻机的测试，不仅关乎中芯国际自身的技术升级与产能扩充，更有望带动整个半导体产业链加速实现国产化替代，推动中国半导体产业在全球竞争格局中占据更有利的位置。
